851个零件复刻全球最贵光刻机！ASML推出High NA EUV乐高套装：售价1650元

来源：鼠啮蠹蚀网编辑：综合时间：2024-12-29 09:48:36

12月3日消息，个零贵光高套光刻设备制造商ASML近日在其官网纪念品商城推出了一款特别的复价元产品——High NA EUV光刻系统TWINSCAN EXE:5000的乐高模型套装。

该模型的刻全刻机定价为227.95美元，约合人民币1653元。球最

这款乐高模型由ASML的推出员工兼乐高爱好者Rick Lenssen设计，包含851个零件，装售尺寸为宽352mm、个零贵光高套高99mm、复价元深64mm，刻全刻机精确复刻了TWINSCAN EXE:5000的球最外观。

High NA EUV光刻机是推出全球首款采用0.55NA数值孔径的光刻机，分辨率达到8nm，装售成像对比度比之前的个零贵光高套NXE系列0.33NA EUV系统高出40%，支持2nm逻辑节点图案化，复价元单价高达3.5亿欧元。刻全刻机

Rick Lenssen此前曾花费2.5年时间（1.5年设计蓝图、1年实际组装）用乐高积木复现了ASML的费尔德霍芬主园区，并推出过多款ASML主题的乐高套装产品。